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公司基本資料信息
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HVA 真空閘閥 真空插板閥81000系列
上海伯東美國(guó) HVA 超高真空閘閥 81000 系列, 閥門主體材質(zhì)鋁, 適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過(guò) 150°C 的高真空應(yīng)用. HVA 真空閘閥 81000系列專為系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)研發(fā), 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 太陽(yáng)能, LED / FPD, 涂料, 鍍膜和生物制藥.
HVA 高真空閘閥 81000系列 產(chǎn)品性能：
1. 真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性, 有效消除了虛漏和缺陷部分, 避免閥體變形
2. 比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
3. 適用壽命長(zhǎng): 400,000啟閉次數(shù)
4. 高性能 PEEK 組件
HVA 真空閘閥 81000系列 技術(shù)參數(shù)：
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 6061-T6鋁 |
軸封 | [DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS |
支架 | 6061-T6/ PEEK |
密封件 | 氟橡膠 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關(guān)閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-7 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1.6 bar (任意位置) |
開(kāi)啟前最大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
閥門主體 | 120 °c |
驅(qū)動(dòng)方式 | 80 °c |
使用壽命：400,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN100-320 mm | |
美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)最大真空閥門制造商, 美國(guó)HVA原裝進(jìn)口真空閥門, 超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造. 主營(yíng)高真空閘閥, 高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領(lǐng)域. 上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商。
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